GBT 14141-2009 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
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2021-10-30 20:20:13
文档简介:
书犐犆犛29.045犎80中华人民共和国国家标准犌犅/犜14141—2009代替GB/T14141—1993硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定直排四探针法犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉狊犺犲犲狋狉犲狊犻狊狋犪狀犮犲狅犳狊犻犾犻犮狅狀犲狆犻狋犪狓犻犪犾,犱犻犳犳狌狊犲犱犪狀犱犻狅狀犻犿狆犾犪狀狋犲犱犾犪狔犲狉狊狌狊犻狀犵犪犮狅犾犾犻狀犲犪狉犳狅狌狉狆狉狅犫犲犪狉狉犪狔20091030发布20100601实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布
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