GBT 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法
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2021-10-18 19:44:23
文档简介：
ICS31.030L90中华人民共和国国家标准GB/T29056—2012硅外延用三氯氢硅化学分析方法硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定电感耦合等离子体质谱法Trichlorosilaneforsiliconepitaxy—Determinationofboron,aluminium,phosphorus,vanadium,chrome,manganese,iron,cobalt,nickel,copper,arsenic,molybdenumandantimonycontent—Inductivelycoupledplasmamassspectrometricmethod2012-12-31发布2013-10-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布
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