GBT 30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
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2021-10-30 20:50:27
文档简介:
ICS29.045H83中华人民共和国国家标准GB/T30868—2014碳化硅单晶片微管密度的测定化学腐蚀法Testmethodformeasuringmicropipedensityofmonocrystallinesiliconcarbidewafers—Chemicallyetching2014-07-24发布2015-02-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布
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