GBT 30867-2014 碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法
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2021-10-30 20:50:25
文档简介:
ICS29.045H83中华人民共和国国家标准GB/T30867—2014碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法Testmethodformeasuringthicknessandtotalthicknessvariationofmonocrystallinesiliconcarbidewafers2014-07-24发布2015-02-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布
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