GBT 29505-2013 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法
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2021-10-30 20:49:33
文档简介:
ICS29.045H80中华人民共和国国家标准GB/T29505—2013硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法Testmethodformeasuringsurfaceroughnessonplanarsurfacesofsiliconwafer2013-05-09发布2014-02-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布
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