GBT 13389-2014 掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
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2021-10-30 20:19:55
文档简介:
ICS29.045H80中华人民共和国国家标准GB/T13389—2014代替GB/T13389—1992掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程Practiceforconversionbetweenresistivityanddopantdensityforboron-doped,phosphorus-doped,andarsenic-dopedsilicon2014-12-31发布2015-09-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布
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