GBT 28275-2012 硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范
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2021-10-18 19:44:10
文档简介:
ICS31.200L55中华人民共和国国家标准GB/T28275—2012硅基MEMS制造技术氢氧化钾腐蚀工艺规范Silicon-basedMEMSfabricationtechnology—SpecificationforKOHetchprocess2012-05-11发布2012-12-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布
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